Vejledende øje for MEMS

Problem: For at sikre, at de målretter mod de rigtige dele af hornhinden under synskorrigerende Lasik-operation, stoler læger på en scanner, der reagerer på øjenbevægelser og omdirigerer laserimpulser. Nutidens scannere koster tusindvis af dollars og tilbyder stadig mindre end ideel præcision.

Cirkulære spejle udskåret i silicium styres af bevægelser af kamformede strukturer. (Med tilladelse fra Hyuck Choo)

Opløsning: Ved University of California, Berkeley, brugte forskere i Microfabrication Laboratory billige teknikker til at bygge en mikroskalascanner, der bevæger sig op til 30.000 gange i sekundet, op fra konventionel teknologis 4.000 gange i sekundet. Kandidatstuderende Hyuck Choo og David Garmire opfandt en måde at skære et stykke silicium i to sammenkoblede comblike strukturer. Påføring af en spænding til den ene kam får den anden til at bevæge sig op eller ned. Et spejl fastgjort til kammene omdirigerer en laserstråle. Mens kamdrev allerede bruges i nogle mikroelektromekaniske systemer (MEMS), har kammene skulle bygges på separate siliciumwafers og kiles sammen manuelt. Fordi den nye enhed er nem at fremstille, er dette ikke kun et trinvis skridt, men en stor udvikling, siger Roger T. Howe, Stanford Universitys elektriske ingeniør, der opfandt kamdrevet i 1980'erne. Choo siger, at teknologien kan inkorporeres billigt i kirurgiske scannere og andre enheder.

skjule